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餐廚垃圾廢氣處理設備采用等離子體分解油霧、廢氣等污染介質時，等離子體中的等離子起決定性的作用。流星雨狀的等離子與介質內分子（原理）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一系列過程使污染介質處于活化狀態。